Китай обойдётся и без ASML. Начались отгрузки автоматических литографов для 200-мм пластин
iXBT.com ·
Китайская Jiangsu Haisi Semiconductor завершила заводскую настройку и приёмку заказчиком полностью автоматической литографической установки Mask Aligner для 8-дюймовых пластин.
Китайская Jiangsu Haisi Semiconductor завершила заводскую настройку и приёмку заказчиком полностью автоматической литографической установки Mask Aligner для 8-дюймовых пластин.
Mask Aligner (установка совмещения и экспонирования) — это установка для фотолитографии, которое переносит микроскопический рисунок с шаблона (фотомаски) на кремниевую пластину или другую подложку, покрытую светочувствительным веществом (фоторезистом).
Оборудование прошло проверку и было погружено для отправки клиенту. Оно рассчитано на обработку кремниевых пластин диаметром 200 мм и предназначено прежде всего для формирования рисунка в процессе производства Micro LED на кремниевой основе.
Установка оснащена двумя автоматическими системами загрузки и выгрузки SMIF, а также двумя независимыми транспортными комплексами с парой роботизированных манипуляторов в каждом. Точность совмещения по лицевой стороне составляет менее ±0,5 мкм. Для выравнивания пластин применяется полностью автоматическая трёхточечная система на воздушной подвеске, позволяющая работать в том числе с тонкими и деформированными пластинами.
Jiangsu Haisi Semiconductor специализируется на контактном литографическом оборудовании. Производственные площадки компании расположены в Сучжоу и Чэнду, а её установки уже поставлялись научным лабораториям университетов и исследовательским организациям.