Китай запустил серийный выпуск электронного микроскопа с разрешением 0,1 нм — он позволит изучать дефекты чипов на атомном уровне
iXBT.com ·
Китайская компания CIQTEK представила просвечивающий электронный микроскоп TEM-F200 с информационным разрешением 0,1 нм и объявила о готовности к серийному производству и поставкам. Прибор предназначен в том числе для изучения структуры современных полупроводников, поиска микроскопических дефектов в чипах и анализа передовых материалов. До сих пор китайские лаборатории во многом зависели от зарубежных производителей такого оборудования.
TEM-F200 работает с ускоряющим напряжением 200 кВ. Его точечное разрешение составляет 0,25 нм, а информационное — 0,1 нм. Эти показатели описывают разные характеристики изображения: точечное разрешение определяет способность различать близко расположенные объекты, а информационное показывает, насколько мелкие детали структуры могут быть переданы в изображении. Поэтому значение 0,1 нм не следует трактовать как универсальную точность измерения любых объектов.
Просвечивающий электронный микроскоп формирует изображение с помощью электронного пучка, проходящего через тонкий образец. В отличие от обычного оптического микроскопа, он позволяет изучать кристаллическую структуру материалов, границы между слоями и мельчайшие дефекты. При производстве микросхем это помогает анализировать тонкие плёнки, границы материалов, пустоты и другие нарушения структуры, которые влияют на характеристики и надёжность компонентов. Такое оборудование также применяется в материаловедении, биомедицинских исследованиях и разработке новых источников энергии.
По данным South China Morning Post, разработка TEM-F200 знаменует переход китайского производства высокопроизводительных электронных микроскопов от этапа исследований и разработок к коммерческим поставкам. Компания CIQTEK заявляет, что самостоятельно разработала ключевые узлы прибора, включая системы высокого напряжения и электронно-оптические компоненты, а также программное обеспечение для управления и анализа.
Выпуск TEM-F200 стал очередным этапом развития китайской электронной микроскопии: в 2024 году в стране представили коммерческий просвечивающий микроскоп на 120 кВ, а в 2025 году — прототип устройства на 200 кВ. Теперь компания заявляет о готовности поставлять серийный прибор. Это расширяет доступность высокоточного оборудования для китайских научных центров и производителей электроники.